説明
装置仕様
・フォトレジストなどの液体材料塗布
・対応基板サイズ：
φ0.5～φ4インチウエハ
5mm～100mm角の基板
備考
スピンコーター3
ミカサ製 IH-DX2
装置利用料金
¥2,500/H
装置利用料金
¥2,500/H
装置仕様
・フォトレジストなどの液体材料塗布
・対応基板サイズ：
φ0.5～φ4インチウエハ
5mm～100mm角の基板
備考
