スピンコーター3 ミカサ製 MS-B150 装置利用料金 ¥2,500/H 商品コード: 41 カテゴリー: 材料作製室（1階） 説明 説明 装置仕様 ・フォトレジストなどの液体材料塗布 ・対応基板サイズ： φ0.5～φ4インチウエハ 5mm～100mm角の基板 備考 関連商品 光学顕微鏡２ ブラシ洗浄装置 マスクレス露光装置 オーブン１
