プレースホルダー

マスクレス露光装置

MLA100 Heiderberg 2019年3月導入

装置利用料金
学内利用者 ¥2,000/H

学外利用者 ¥3,200/H

商品コード: 93 カテゴリー:

説明

装置仕様
g, h, i線露光
5mm角~125mm角試料に対応
dxf, gdsII, cif, gerberデータ対応

備考



お知らせ: 中核人材(プロセス)教育 参加者募集中!!

2020年度の開催については、E日程(10/20-23)以降について、申し込みを受け付けております。状況によっては開催キャンセルとなる可能性がありますので、ご了承の上、申し込みをお願いいたします。

   

 

Seminar2019_2