マスクレス露光装置 MLA100 Heiderberg 2019年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥4,000/H 商品コード: 93 カテゴリー: フォト室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 g, h, i線露光 5mm角～125mm角試料に対応 dxf, gdsII, cif, gerberデータ対応 備考 関連商品 ３次元光学顕微鏡 光学顕微鏡２ ホットプレート１ スピンコーター２
