説明
装置仕様
・光源:g線 h線、i線
・試料サイズ:5 ~125 mm角
・描画データ形式:dxf、gdsII、cif、gerber
・実効描画線幅:孤立パターン 1ミクロン、L&Sパターン 5ミクロン
※フォトレジストの厚さに依存
・実効併せ精度:5ミクロン
備考
装置利用料金
¥4,000/H
装置仕様
・光源:g線 h線、i線
・試料サイズ:5 ~125 mm角
・描画データ形式:dxf、gdsII、cif、gerber
・実効描画線幅:孤立パターン 1ミクロン、L&Sパターン 5ミクロン
※フォトレジストの厚さに依存
・実効併せ精度:5ミクロン
備考