device93

マスクレス露光装置

MLA100 Heiderberg 2019年3月導入

装置利用料金
学内利用者　¥2,000/H

学外利用者　¥3,200/H

商品コード: 93 カテゴリー: フォト室（1階CR）

説明

説明

装置仕様
g, h, i線露光
5mm角～125mm角試料に対応
dxf, gdsII, cif, gerberデータ対応
備考

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