材料作製室（1階）

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  オーブン１

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  オーブン２

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  スピンコーター3

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  ホットプレート3

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  ホットプレート４

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  マスクアライナー１

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  マスクアライナー２

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  有機ドラフト（イエローブース）

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  有機ドラフトチャンバー２

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  無機ドラフトチャンバー１

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  蒸着装置１

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  蒸着装置２

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  表面形状測定器１

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  電気炉