装置詳細

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  実体顕微鏡1

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  実体顕微鏡２

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  小型チューブ炉

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  接合装置

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  断面研磨システム

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  有機ドラフトチャンバー

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  有機ドラフトチャンバー１

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  有機ドラフトチャンバー３

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  有機ドラフトチャンバー４

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  減圧ＣＶＤ装置

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  無機ドラフトチャンバー

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  無機ドラフトチャンバー（ＨＦ）

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  無機ドラフトチャンバー（一般酸）

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  無機ドラフトチャンバー２

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  簡易SEM

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  縦型拡散炉