接合装置

PMT製 KOG-404-V改 2010年3導入


装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H

学外利用者 ¥2,000/H

商品コード: 52 カテゴリー:

説明

装置仕様
・陽極接合、加熱加圧接合
・主基板サイズ:4インチ×4インチ
・試料片:最大20×20mm
・厚さ(主基板/試料片):0.7~5mm
・アライメント精度:最大±10um
・温度制御範囲:常温、50~600℃
・X-Y-θステージ移動範囲:(XおよびY軸)±50mm,(θ軸)±5rad
・分解能:(XおよびY軸)0.1um,(θ軸)5arc-sec

備考



お知らせ: 中核人材(プロセス)教育 参加者募集中!!

2020年度の開催については、E日程(10/20-23)以降について、申し込みを受け付けております。状況によっては開催キャンセルとなる可能性がありますので、ご了承の上、申し込みをお願いいたします。

   

 

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