接合装置 PMT製 KOG-404-V改 2010年3導入 装置利用料金 ¥2,500/H 商品コード: 52 カテゴリー: マイクロ化技術室（2階） 説明 説明 装置仕様 休止中 ・陽極接合、加熱加圧接合 ・主基板サイズ：4インチ×4インチ ・試料片：最大20×20mm ・厚さ（主基板／試料片）：0.7～5mm ・アライメント精度：最大±10um ・温度制御範囲：常温、50～600℃ ・X-Y-θステージ移動範囲：(XおよびY軸)±50mm,(θ軸）±5rad ・分解能：（XおよびY軸)0.1um,(θ軸)5arc-sec 備考 関連商品 光学顕微鏡 オーブン 断面研磨システム 小型チューブ炉
