スピンドライヤー コクサン製 SPD160RN 装置利用料金 ¥2,500/H 商品コード: 26 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・ウェーハの乾燥 ※φ4inchウェーハカセット専用にて使用 備考 関連商品 RCA洗浄槽 無機ドラフトチャンバー（ＨＦ） イオン注入装置 減圧ＣＶＤ装置
