スピンドライヤー コクサン製 SPD160RN 装置利用料金 ¥2,500/H 商品コード: 26 カテゴリー: プロセス室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・ウェーハの乾燥 ※φ4inchウェーハカセット専用にて使用 備考 関連商品 縦型拡散炉 減圧CVD装置 電気炉2号炉 PE-CVD装置