説明
装置仕様
・ドライ酸化用
・横型炉、石英チューブ
・基板の種類：Siのみ
・基板サイズ：4インチウエハ、10枚
・ガス種：O2、N2
・膜厚分布：±5～10%
備考
電気炉１号炉
光洋リンドバーグ製 M200,M300
装置利用料金
¥4,000/H
装置利用料金
¥4,000/H
装置仕様
・ドライ酸化用
・横型炉、石英チューブ
・基板の種類：Siのみ
・基板サイズ：4インチウエハ、10枚
・ガス種：O2、N2
・膜厚分布：±5～10%
備考
