ワンストップ・デベロップメントベース
全国120社以上が活用する、半導体研究の拠点です
圧倒的な装置稼働率
95%以上の圧倒的な装置稼働率により、お客様の実験をサポートします
専任スタッフによるスピード代行
専任技術スタッフが、最短1日で試作代行を行います
Center for Microelectronic Systems
Equipment Usage
機器利用
-
装置1
イオン注入装置イオン注入 -
装置2
減圧CVD装置成膜 -
装置3
PE-CVD装置成膜 -
装置5
スパッタ装置2成膜 -
装置7
電気炉１号炉酸化拡散熱処理 -
装置8
電気炉2号炉酸化拡散熱処理 -
装置9
電気炉3号炉酸化拡散熱処理 -
装置10
電気炉4号炉酸化拡散熱処理 -
装置11
電気炉５号炉成膜, 酸化拡散熱処理 -
装置13
高速熱処理炉１酸化拡散熱処理 -
装置15
Si系材料 ドライエッチング装置エッチング -
装置16
Metal系材料ドライエッチング装置エッチング -
装置19
縮小投影露光装置露光 -
装置20
両面マスクアライナー露光 -
装置22
無機ドラフトチャンバー（HF）エッチング, 薬品洗浄 -
装置23
無機ドラフトチャンバー（一般酸）エッチング, 薬品洗浄 -
装置24
RCA洗浄槽エッチング, 洗浄, 薬品洗浄 -
装置25
アッシャー1レジスト除去 -
装置26
スピンドライヤー乾燥, 洗浄 -
装置28
スピンコーター1レジスト塗布, 成膜, 熱処理
Seminar
リスキリングセミナー
企業技術者、学生、教職員など多様な方を対象に、プロセス実習、設計、評価に関する技術習得セミナーを随時開催しています。
Contact
センターの設備利用、試作相談、人材育成プログラムに関するご質問など、専門スタッフが迅速に対応いたします。
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