九州工業大学 マイクロ化総合技術センター
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事例一覧
表面活性化接合
主な利用装置
3. PE-CVD装置
5. スパッタ装置2
13. 高速熱処理炉1
15. Si系材料ドライエッチング装置
17. Metal系材料ドライエッチング装置
関連資料
【要素技術】表面活性化接合
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