九州工業大学 マイクロ化総合技術センター
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事例一覧
アクチュエーター付き静電インクジェットノズル
主な利用装置
20. 両面マスクアライナー
75. 高速深掘りRIE
22. 無機ドラフトチャンバー(HF)
関連資料
acctuator
紹介動画
https://www.cms.kyutech.ac.jp/wp-content/uploads/2026/07/acctuator.mp4
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