評価用リングオシレータ
概要
歩留まりやI/O回路の動作等を評価する目的で、大規模リングオシレータ回路を設計し、マイクロ化総合技術センターの2層配線CMOSプロセスにより設計・試作した。チップサイズは2.4mm角、L型20パッド。1チップ内に、281段、601段、1201段、2501段の4種類のリングオシレータ(FO=1)を含み、アナログI/O回路を通して出力される。デジタルI/Oについても同時に設計し、4bit加算回路に用いた。ウエハー面内の61ショットに対して、プローブカードによる測定により、歩留まり等の評価を行った。
本回路は、設計実習における例題回路の一つであり、設計セミナー受講者、及び設計登録者は、本PLLの設計データ(PDK、回路、レイアウト)へのアクセスが可能。設計セミナーへの申し込み・お問い合わせはこちらから。
本回路は、設計実習における例題回路の一つであり、設計セミナー受講者、及び設計登録者は、本PLLの設計データ(PDK、回路、レイアウト)へのアクセスが可能。設計セミナーへの申し込み・お問い合わせはこちらから。
- 設計者:小池洋紀(CMSスタッフ)
- 設計期間:回路設計:2週間、レイアウト設計:2週間
- 試作費用:160,000円(2.4mm角、10 Chip)
- 使用ツール:NS-tools (回路設計、SPICE)、KLayout (レイアウト設計、DRC/LVS)
チップ写真

設計・評価概要
主な利用装置
