試作・技術事例データベース（随時追加予定）

要素技術

Cuダマシン・STI・研削

Cuダマシン・STI・研削

Deep-RIE（ボッシュ）

Deep-RIE（ボッシュ）

i線ステッパー

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表面活性化接合

表面活性化接合

MEMS

アクチュエーター付き静電インクジェットノズル

アクチュエーター付き静電インクジェットノズル

バイオ

Micro- and Nano-fluidic information devices（早稲田大・馬渡研）

Micro- and Nano-fluidic information devices（早稲田大・馬渡研）

経皮吸収型マイクロニードル

経皮吸収型マイクロニードル

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