説明
装置仕様
・HF、BHFによるシリコンウエハの洗浄
※シリコンウエハのみ使用可能
備考
無機ドラフトチャンバー（ＨＦ）
ダン産業製 HSS-2000HF
装置利用料金
¥2,500/H
関連消耗品など
BHF：BHF洗浄槽薬品
※使用回数（回）
装置利用料金
¥2,500/H
関連消耗品など
BHF：BHF洗浄槽薬品
※使用回数（回）
装置仕様
・HF、BHFによるシリコンウエハの洗浄
※シリコンウエハのみ使用可能
備考
