装置詳細

膜厚測定器

装置利用料

\2500/H

商品コード: 96 カテゴリー: 炉体室

説明

装置仕様

・白色光干渉型膜厚測定器
・透明薄膜の光学的膜厚測定
・測定可能試料：SiO2/Si、SiN/Si
※データを設定すれば他の透明膜も測定可能
・分解能：1 nm

備考