説明
装置仕様
・ウェーハダイシング
・ダイヤモンドブレード、1.5kWスピンドル仕様
・最大ストローク：(X軸)248mm,(Y軸)162mm
・切削可能範囲：(X軸)160mm,(Y軸162mm
・ワークサイズ設定範囲：(X軸,Y軸)～160mm,ステップ0.001mm
・送り速度入力範囲：(X軸)0.1～500mm/s
・送り速度：(X軸)500mm/s
・インデックス設定範囲：(Y軸)入力0～160mm,ステップ0.0001mm
・速度：(Y軸)150mm/s
備考
ダイサー＋マウンタ
DISCO製 DAD322 2010年3月導入
装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H
学外利用者 ¥2,500/H
