ガラス加工装置

PMT製 DBM-100-S1 2010年3月導入


装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H

学外利用者 ¥2,000/H

商品コード: 53 カテゴリー:

説明

装置仕様
・ガラス、Siなど脆性材料の機械加工
・対応材質:シリコン、クォーツ、ホウ珪酸ガラス等
・最小加工線幅:100um
・アライメント分解能:2um
・重ね精度:±10um
・加工ステージサイズ:250mm×218mm

備考



お知らせ: 中核人材(プロセス)教育 参加者募集中!!

2020年度の開催については、E日程(10/20-23)以降について、申し込みを受け付けております。状況によっては開催キャンセルとなる可能性がありますので、ご了承の上、申し込みをお願いいたします。

   

 

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