装置詳細

ガラス加工装置

装置利用料金
学内利用者　¥1,250/H

学外利用者　¥2,500/H

商品コード: 53 カテゴリー: マイクロ化技術室（2階）

説明

装置仕様
・ガラス、Siなど脆性材料の機械加工
・対応材質：シリコン、クォーツ、ホウ珪酸ガラス等
・最小加工線幅：100um
・アライメント分解能：2um
・重ね精度：±10um
・加工ステージサイズ：250mm×218mm

備考