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国立大学法人九州工業大学　マイクロ化総合技術センター

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有機ドラフトチャンバー４

ヤマト科学　GF1L-15TNZ


装置利用料金
¥2,500/H

関連消耗品など

商品コード: 109 カテゴリー: 材料作製室（1階）
  • 説明

説明

装置仕様
・各種レジストの現像
・有機溶剤による基板の洗浄

備考

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Center for Microelectronic Systems
マイクロ化総合技術センター
〒820-8502
福岡県飯塚市川津680-4
国立大学法人 九州工業大学
半導体人材育成・イノベーション推進特区
TEL : 0948-29-7585

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