ブラシ洗浄装置 ダルトン DT-PCMP6-M 装置利用料金 ¥4,000/H 関連消耗品など 商品コード: 107 カテゴリー: 材料作製室（1階） 説明 説明 装置仕様 ・ブラシおよび2流体（純水+N2ガス）による基板の洗浄 ・試料サイズ：φ6インチ、φ4インチ、5インチ角 ・CMP後の洗浄 ・フォトマスク、レチクルの洗浄 備考 関連商品 マスクレス露光装置 CMP装置 スピンコーター3 ホットプレート３
