装置一覧
| 装置写真 | 装置名 | 装置番号 | 用途/カテゴリ | 設置場所 | 仕様 | 型番 | メーカー | 装置利用料 |
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DUV顕微鏡 | 34 |
寸法測定 観察 評価・観察装置 | 1Fプロセス室 | 微細パターン観察（光学） | INM300 DUV | KLA-Tencor | 2,500円／時間 |
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光学顕微鏡2 | 35 |
寸法測定 表面観察 観察 評価・観察装置 | 1F材料作製室 | 微細パターン観察（光学） | エクリプスL200AF | NIKON | 2,500円／時間 |
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簡易SEM | 55 |
表面・断面観察 観察 評価・観察装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 微細パターン観察（電子） | JCM-5700 | 日本電子 | 2,500円／時間 |
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FIB/SEM複合装置 | 57 |
表面・断面観察 評価・観察装置 | 2F状態評価室 | 微細パターン観察（電子） | JIB-4600F | JEOL | 4,000円／時間 |
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プロービングシステム | 62 |
特性評価 評価・観察装置 | 2F設計開発室 | トランジスタなどのデバイス電気的評価 | アジエントテクノロジー＋ベクターセミコン | 2,500円／時間 | |
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高電圧カーブトレーサ＋プローバー | 63 |
特性評価 評価・観察装置 | 2Fマイクロ化技術室 | トランジスタなどのデバイス電気的評価（高電圧） | CS-3300 | 岩通＋ベクターセミコン | 2,500円／時間 |
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四探針測定器1 | 64 |
抵抗測定 評価・観察装置 | 1F炉体室 | 電気抵抗測定 | Model RT-70 RG-5＋TCR | ナプソン | 1,000円／時間 |
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光学顕微鏡 | 84 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 微細構造観察（光学） | ECLIPSE | NIKON | 1,000円／時間 |
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半導体パラメーターアナライザー３ ＋プローバー | 86 |
特性評価 評価・観察装置 | 2F設計開発室 | トランジスタなどのデバイス電気的評価 | B1500A | Agilent ＋MICRONICS JAPAN | 2,500円／時間 |
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エリプソメーター | 94 |
膜厚測定 評価・観察装置 | 1F炉体室 | 極薄透明薄膜の膜厚測定 | LSE | ガートナ | 2,500円／時間 |
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膜厚測定器 | 96 |
膜厚測定 評価・観察装置 | 1F炉体室 | 透明薄膜の白色干渉型膜厚測定 | M5000 | ナノスペック | 2,500円／時間 |
| 膜厚測定器２ | 96 |
膜厚測定 評価・観察装置 | 1F炉体室 | 透明材料の白色干渉型膜厚測定 | FR-ES VIS/NIR | θmetrisis | 2,500円／時間 | |
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3次元光学顕微鏡 | 100 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 1Fフォト室 | 微細構造観察（光学） | VHX-7000 | Keyence | 2,500円／時間 |
| 3次元光学顕微鏡2 | 100 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 1Fフォト室 | 微細構造観察（光学） | VHX-X1 | Keyence | 2,500円／時間 | |
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オートプローバー | 101 |
特性評価 評価・観察装置 | 2Fシステム化技術室 | トランジスタなどのデバイス電気的評価 | B1500A+HSP-150 | Agilent＋HISOL | 2,500円／時間 |
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共焦点レーザー顕微鏡 | 102 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 3次元微細構造観察 | VK-X3000 | キーエンス | 2,500円／時間 |
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表面形状測定器3 | 104 |
段差測定 評価・観察装置 | 1F炉体室 | パターンの段差測定（触針式） | ET200A | 小坂研究所 | 2,500円／時間 |
| 電界放出型走査電子顕微鏡（EDX） | 115 |
観察 評価・観察装置 | 1Fフォト室 | 微細構造観察（電子）、元素分析 | 4,000円／時間 |