九州工業大学 マイクロ化総合技術センター
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事例一覧
Micro- and Nano-fluidic information devices(早稲田大学・馬渡研究室)
主な利用装置
19. 縮小投影露光装置
75. 高速深掘りRIE
15. Si系材料ドライエッチング装置
関連資料
【バイオ】Micro-and-Nano-fluidic-information-devices(早稲田大-馬渡研)
紹介動画
https://www.cms.kyutech.ac.jp/wp-content/uploads/2026/07/【バイオ】Micro-and-Nano-fluidic-information-devices(早稲田大-馬渡研).mp4
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