装置一覧
| 装置写真 | 装置名 | 装置番号 | 用途/カテゴリ | 設置場所 | 仕様 | 型番 | メーカー | 装置利用料 |
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有機ドラフトチャンバー | 49 |
洗浄・乾燥装置 薬品実験 | 2Fマイクロ化技術室 | 有機溶剤による基板の洗浄 | 2,500円／時間 | ||
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無機ドラフトチャンバー | 50 |
ウェットエッチング装置 洗浄・乾燥装置 薬品実験 | 2Fマイクロ化技術室 | 各種無機材料のエッチング / 各種基板の洗浄 | 2,500円／時間 | ||
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ダイサー＋マウンター | 54 |
切断 後工程装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 各種基板のダイシング | DAD322 | DISCO | 2,500円／時間 |
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簡易SEM | 55 |
表面・断面観察 観察 評価・観察装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 微細パターン観察（電子） | JCM-5700 | 日本電子 | 2,500円／時間 |
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高電圧カーブトレーサ＋プローバー | 63 |
特性評価 評価・観察装置 | 2Fマイクロ化技術室 | トランジスタなどのデバイス電気的評価（高電圧） | CS-3300 | 岩通＋ベクターセミコン | 2,500円／時間 |
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超臨界乾燥洗浄装置 | 77 |
乾燥 洗浄 洗浄・乾燥装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 微細構造基板の乾燥 | LSCRD403 | 隆祥産業 | 2,500円／時間 |
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クイックコーター | 80 |
成膜 成膜装置 | 2Fマイクロ化技術室 | SEM観察試料表面へのAu、Pt成膜 | SC-701MKⅡ | サンユー電子 | 2,500円／時間 |
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小型チューブ炉 | 82 |
成膜 熱処理 熱処理装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 熱酸化、各種材料熱処理 | KTF050N1 | KOYO | 2,500円／時間 |
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オーブン | 83 |
乾燥 熱処理装置 | 2Fマイクロ化技術室 | ダイボンディング後のエポキシ乾燥 | DX302 | Yamato | 1,000円／時間 |
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光学顕微鏡 | 84 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 微細構造観察（光学） | ECLIPSE | NIKON | 1,000円／時間 |
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共焦点レーザー顕微鏡 | 102 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 3次元微細構造観察 | VK-X3000 | キーエンス | 2,500円／時間 |