装置一覧
| 装置写真 | 装置名 | 装置番号 | 用途/カテゴリ | 設置場所 | 仕様 | 型番 | メーカー | 装置利用料 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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四探針測定器1 | 64 |
抵抗測定 評価・観察装置 | 1F炉体室 | 電気抵抗測定 | Model RT-70 RG-5＋TCR | ナプソン | 1,000円／時間 |
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エリプソメーター | 94 |
膜厚測定 評価・観察装置 | 1F炉体室 | 極薄透明薄膜の膜厚測定 | LSE | ガートナ | 2,500円／時間 |
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膜厚測定器 | 96 |
膜厚測定 評価・観察装置 | 1F炉体室 | 透明薄膜の白色干渉型膜厚測定 | M5000 | ナノスペック | 2,500円／時間 |
| 膜厚測定器２ | 96 |
膜厚測定 評価・観察装置 | 1F炉体室 | 透明材料の白色干渉型膜厚測定 | FR-ES VIS/NIR | θmetrisis | 2,500円／時間 | |
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表面形状測定器3 | 104 |
段差測定 評価・観察装置 | 1F炉体室 | パターンの段差測定（触針式） | ET200A | 小坂研究所 | 2,500円／時間 |