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  小型チューブ炉
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  クイックコーター
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  超臨界乾燥洗浄装置
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  XeF2エッチャー
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  ALD装置
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  厚膜CVD
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  四探針測定器1
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  高電圧カーブトレーサ＋プローバー
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  プロービングシステム
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  FIB/SEM複合装置
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  ダイサー＋マウンター
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  無機ドラフトチャンバー
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  有機ドラフトチャンバー
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  スピンコーター3
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  蒸着装置1
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  DUV顕微鏡
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  有機ドラフトチャンバー1
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  ホットプレート2
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  ホットプレート1