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  2026-03-05

  電気炉５号炉
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  高速深堀RIE
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  電気炉１号炉
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  ホットプレート3
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  光学顕微鏡2
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  ワイヤーボンダー
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  スパッタ装置3
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  クリーンオーブン
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  2026-01-20

  イオン注入装置