装置一覧
| 装置写真 | 装置名 | 装置番号 | 用途/カテゴリ | 設置場所 | 仕様 | 型番 | メーカー | 装置利用料 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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DUV顕微鏡 | 34 |
寸法測定 観察 評価・観察装置 | 1Fプロセス室 | 微細パターン観察（光学） | INM300 DUV | KLA-Tencor | 2,500円／時間 |
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光学顕微鏡2 | 35 |
寸法測定 表面観察 観察 評価・観察装置 | 1F材料作製室 | 微細パターン観察（光学） | エクリプスL200AF | NIKON | 2,500円／時間 |
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簡易SEM | 55 |
表面・断面観察 観察 評価・観察装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 微細パターン観察（電子） | JCM-5700 | 日本電子 | 2,500円／時間 |
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光学顕微鏡 | 84 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 微細構造観察（光学） | ECLIPSE | NIKON | 1,000円／時間 |
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3次元光学顕微鏡 | 100 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 1Fフォト室 | 微細構造観察（光学） | VHX-7000 | Keyence | 2,500円／時間 |
| 3次元光学顕微鏡2 | 100 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 1Fフォト室 | 微細構造観察（光学） | VHX-X1 | Keyence | 2,500円／時間 | |
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共焦点レーザー顕微鏡 | 102 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 3次元微細構造観察 | VK-X3000 | キーエンス | 2,500円／時間 |
| 電界放出型走査電子顕微鏡（EDX） | 115 |
観察 評価・観察装置 | 1Fフォト室 | 微細構造観察（電子）、元素分析 | 4,000円／時間 |