装置一覧
| 装置写真 | 装置名 | 装置番号 | 用途/カテゴリ | 設置場所 | 仕様 | 型番 | メーカー | 装置利用料 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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スピンドライヤー | 26 |
乾燥 洗浄 洗浄・乾燥装置 | 1Fプロセス室 | 4インチウエハの乾燥 | SPD160RN | コクサン | 2,500円／時間 |
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クリーンオーブン | 30 |
乾燥 熱処理装置 | 1Fフォト室 | レジスト・SOG・ポリイミドなどの乾燥 | DE410 | ヤマト科学 | 2,500円／時間 |
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超臨界乾燥洗浄装置 | 77 |
乾燥 洗浄 洗浄・乾燥装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 微細構造基板の乾燥 | LSCRD403 | 隆祥産業 | 2,500円／時間 |
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オーブン | 83 |
乾燥 熱処理装置 | 2Fマイクロ化技術室 | ダイボンディング後のエポキシ乾燥 | DX302 | Yamato | 1,000円／時間 |