装置一覧
| 装置写真 | 装置名 | 装置番号 | 用途/カテゴリ | 設置場所 | 仕様 | 型番 | メーカー | 装置利用料 |
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無機ドラフトチャンバー2 | 97 |
ウェットエッチング装置 洗浄・乾燥装置 無機薬品洗浄 研磨・研削装置 薬品調合 | 1F材料作製室 | 各種材料のエッチング / 無機薬品洗浄 / CMPスラリー、薬品調合 | Dan-Takuma | 2,500円／時間 | |
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CMP装置 | 106 |
研磨 研磨・研削装置 | 1F材料作製室 | Si、SiO2、各種金属のCMP、Si、ガラスなどの研削、各種材料表面の平坦化 | RDP-500 | 不二越機械 | 4,000円／時間 |
| 卓上研磨装置 | 106 |
研磨 研磨・研削装置 | 1F材料作製室 | 基板表面の平坦化、基板の薄化 | IM-P2 | IMT | 4,000円／時間 |