マスクアライナー1 ユニオン光学製 PEM-1000 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,000/H 商品コード: 45 カテゴリー: 材料作製室(1階) 説明 説明 装置仕様 ・レジストフォトパターニング 備考 関連商品 蒸着装置1 マスクアライナー2 ホットプレート3 蒸着装置2