高速熱処理炉2

ULVAC理工製 MILA-3000 2007年11月導入

装置利用料金
学内利用者 ¥2,000/H

学外利用者 ¥3,200/H

商品コード: 14 カテゴリー:

説明

装置仕様
・熱処理用
・雰囲気:真空中、N2中
・温度範囲:~1200℃
・最大加熱速度:50℃/sec(SiCコート付きカーボンサセプタ使用)
・基板サイズ:15mm角以下のチップ

備考



お知らせ: 中核人材(プロセス)教育 参加者募集中!!

2020年度の開催については、E日程(10/20-23)以降について、申し込みを受け付けております。状況によっては開催キャンセルとなる可能性がありますので、ご了承の上、申し込みをお願いいたします。

   

 

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