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研究・研究者


● 有馬 裕 (Yutaka ARIMA)

所属:設計技術第1研究室
職名:教授 (センター長兼務)
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 新タイプのLSI開発と、独自のLSI高性能化技術の創出を目指して、幅広い研究テーマに取組んでいる。独自構造による新機能素子の研究を通して微細化に頼らないLSIの高集積化・低消費電力化技術を研究している。また、より便利で安全な社会を実現する為に、新型イメージセンサーや加速度センサーなどの感覚情報処理LSIの開発に力を入れている。感覚情報を直接取込み高速情報処理して有益な情報を出力する高機能新型センサーLSIの開発を目指している。ニューラルネットワークLSIやイメージセンサーLSIなど大規模アナログLSIの研究開発実績が豊富で、デバイス構造やプロセス技術、信頼性評価、不良解析などLSI開発全般に渡る幅広い技術分野で豊富な経験と知識を持つ。

● 中村 和之 (Kazuyuki NAKAMURA)

所属:設計技術第2研究室
職名:教授 (副センター長兼務)
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 高速化・低電力化・高集積化といったLSIの高性能化の基本課題に対して、新規な回路・アーキテクチャを提案し、実際にLSIを試作・評価することで、その効果を検証する。一方で、高性能な大規模LSI回路を効率的に設計するための設計手法についても、特に性能差別化に大きく貢献する回路・レイアウトレベルの見地から研究を行う。これらの検討により、次世代の超大規模LSIのあるべき姿について探求していく。

● 馬場 昭好 (Akiyoshi BABA)

所属:製造技術第1研究室
職名:准教授
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 半導体微細加工技術のみならず,インクジェット技術およびナノインプリント技術と言った新たな微細加工技術および3次元加工技術を併用することで,ディスプレイ素子,MEMS素子,バイオ素子および半導体素子の融合を図る研究を行っている.さらには,いわば「加工のための道具」である,電子源,イオン源などの微細加工技術の開発も並行して行っている.微細加工,適材適所の加工技術をキーワードとし,各種分野間の融合を目指す.半導体デバイス・プロセス技術および微細加工・3次元加工に幅広い知識と技術を持つ.

● 新海 聡子 (Satoko SHINKAI)

所属:製造技術第2研究室
職名:准教授
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 新規材料とプロセス技術をデバイス製造工程に適用することで,次世代半導体デバイスの新しい姿を提案しています.特に,Si-LSIにおいては,高速化・微細化・高信頼化に対応可能なLSIの確立を,LSIの構成要素材料および結晶構造的見地から行っています.当面の挑戦項目としては,新規材料導入によるプロセスと界面反応の問題解決が挙げられますが,長期的には,従来型のスケ―リングに伴う材料変更に頼るだけではなく,革新的な製造技術の提案を目標としています.一方,ディスクリート半導体デバイスに関しては,個々の材料特性だけでなく,材料の組み合わせにより発現する様々な特性についても考慮し,薄膜結晶成長技術を軸にした新規材料開発を行っています.

● 坂本 憲児 (Kenji SAKAMOTO)

所属:製造技術第3研究室
職名:准教授
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 マイクロ流体デバイスの研究に携わり、流体デバイスの医療・バイオ応用、CMOSプロセスとMEMSプロセスの融合研究を行っている。現在の主なテーマは、乳幼児を対象としたアレルギー検査用チップの研究である。マイクロ流体技術を用いて極微量血液から血球細胞の分離を行い、集積化したセンサによりアレルギー検査をする使い捨てチップの研究開発を行っている。またCMOS-MEMS融合プロセスの研究として、連続で微量送液を可能にするマイクロポンプ搭載型遺伝子センサの研究にも取り組んでいる。マイクロ流体技術とLSI技術を融合することにより、簡便な医療検査チップやバイオ研究チップを開発していく。

● 有吉 哲也 (Tetsuya ARIYOSHI)

所属:設計技術第1研究室
職名:助教
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 X線分光用の光子検出器の開発研究に携わり、検出器材料の最適化による高検出効率および高SN比を目指してきた経験を持つ。現在は、地球環境保全、予防安全、快適性の観点から求められる圧力・加速度・光などの各種マイクロセンサーの設計・作製を行っている。具体的には、事故のない安全で快適な車を目指した車載用センサーLSIの研究開発を行っている。高性能センサーLSIの提供を通して、世界的な省エネルギー、医療福祉の向上に貢献し、人類の安心・安全で質の高い生活を創造していく。

●連絡先・お問い合わせ

九州工業大学 マイクロ化総合技術センター
Addr. : 〒820-8502 福岡県飯塚市川津680-4
Tel. : 0948-29-7585
Fax. : 0948-29-7586

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