設計製造等の機器使用基本利用料金表

設置場所 用途 No 装置名 仕様 装置
画像
型番 メーカー 装置
利用
制限
1時間当たり
利用料金
学内
利用者
学外
利用者
プロセス室 イオン
注入
1 イオン注入装置 リンおよびホウ素のイオン注入 IMX-3500 ULVAC ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 成膜 2 減圧CVD装置 poly-Si堆積 272-M200 光洋リンドバーグ ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 成膜 3 PE-CVD装置 SiO2,SiN,a-Siの堆積 PD-200NL サムコ ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 成膜 4 スパッタ装置1 各種金属膜の堆積
4inchターゲット
φ4inch以下の基板対応
HSR-521A 島津製作所 ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 成膜 5 スパッタ装置2 各種金属膜の堆積
2inchターゲット
φ4inch以下の基板対応
E-200S キヤノンアネルバ ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 酸化
拡散
熱処理
7 電気炉1号炉 ドライ酸化用
Siウェーハのみ
M200, M300 光洋リンドバーグ ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 酸化
拡散
熱処理
8 電気炉2号炉 ドライおよびウェット酸化用
Siウェーハのみ
M200, M300 光洋リンドバーグ ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 酸化
拡散
熱処理
9 電気炉3号炉 シンタリング用
金属はAl限定
M200, M300 光洋リンドバーグ ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 酸化
拡散
熱処理
10 電気炉4号炉 拡散用
Siウェーハのみ
M200, M300 光洋リンドバーグ ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 酸化
拡散
熱処理
11 電気炉5号炉 材料限定無し M200, M300 光洋リンドバーグ ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 酸化
拡散
熱処理
12 縦型拡散炉 ゲート酸化膜作製用 V4-25LL ULVAC ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 酸化
拡散
熱処理
13 高速熱処理炉1 極薄酸化膜形成用
φ4inch基板対応
RTP-6 ULVAC ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 酸化
拡散
熱処理
14 高速熱処理炉2 熱処理用
15mm角以下のチップ対応
MILA-3000 アルバック理工 ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 エッチング 15 Si系材料
ドライエッチング
装置
Si,SiO2,SiNのエッチング RIE-101iPH
(フッ素ガス仕様)
サムコ ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 エッチング 16 Metal系材料
ドライエッチング
装置
上記以外材料のエッチング RIE-101iPH
(塩素ガス仕様)
サムコ ¥1,500 ¥2,400
フォト室 描画 18 電子線描画装置 4inchおよび5inch角フォトマスク、
φ4inchSiウェーハ対応
JBX-6300 JEOL ¥1,500 ¥2,400
フォト室 露光 19 縮小投影
露光装置
i線露光
φ4inchSiウェーハおよび
35mm角基板対応
FPA-3000i5+ キャノン ¥1,500 ¥2,400
フォト室 露光 20 両面
マスクアライナー
g線露光
φ4inchおよび5inch角フォトマスク,
φ4inch以下試料対応
MA-6 ズースマイクロテック  ¥1,500 ¥2,400
マイクロ化
技術室
結晶
構造
解析
21 X線分析装置 結晶構造解析,配向性評価 SmartLab リガク  ¥1,500 ¥2,400
プロセス室 薬品洗浄
エッチング
22 無機ドラフト
チャンバー
(HF)
Hf,BHF洗浄 HSS-2000HF ダン産業 ¥1,000 ¥1,600
プロセス室 薬品洗浄
エッチング
23 無機ドラフト
チャンバー
(一般酸)
HF,BHF以外の洗浄および
エッチング
HSS-2000HF ダン産業 ¥1,000 ¥1,600
プロセス室 薬品洗浄
エッチング
24 RCA洗浄槽 RCA洗浄(Siのみ)
ピラニア洗浄
(Si,フォトマスクのみ)
  ダルトン ¥1,000 ¥1,600
プロセス室 レジスト
除去
25 アッシャー1 レジスト除去 RP-510 ヤマト科学 ¥1,000 ¥1,600
プロセス室 ウエハ
乾燥
26 スピンドライヤー Siウェーハの乾燥
φ4inchウェーハカセット専用
SPD160RN コクサン ¥1,000 ¥1,600
プロセス室 観察 27 光学顕微鏡1 各プロセスにおける
ウェーハ確認
OPTIPHOTO-200 ニコン ¥1,000 ¥1,600
フォト室 レジスト
塗布
28 スピンコーター1 i線レジスト塗布
EBレジスト塗布
DELTA80 ズースマイクロテック  ¥1,000 ¥1,600
フォト室 レジスト
塗布
29 スピンコーター2 TSMR,OMR塗布 IHーDX2 ミカサ ¥1,000 ¥1,600
フォト室 ベーク 30 クリーンオーブン EBレジスト乾燥 DE410 ヤマト科学 ¥1,000 ¥1,600
フォト室 ベーク 31 ホットプレート1 フォトレジスト乾燥 MH-180 井内 ¥1,000 ¥1,600
フォト室 ベーク 32 ホットプレート2 フォトレジスト乾燥 MH-180CS アズワン ¥1,000 ¥1,600
フォト室 現像 33 有機ドラフト
チャンバー1
現像、有機薬剤による洗浄 HSS-2000 UNION ¥1,000 ¥1,600
フォト室 観察
寸法
測定
34 DUV顕微鏡 ウェーハ上,
マスク上パターンの確認
INM300 DUV KLA-Tencor ¥1,000 ¥1,600
フォト室 観察
寸法
測定
35 光学顕微鏡2 ウェーハ上,
マスク上パターンの確認
エクリプスL200AF NIKON ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
薬品
洗浄
エッチング
36 有機ドラフト
チャンバー2
有機薬品専用     ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
薬品
洗浄
エッチング
37 無機ドラフト
チャンバー1
無機薬品専用     ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
成膜 38 蒸着装置1 金属膜堆積 E-250 島津製作所 ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
成膜 39 蒸着装置2 金属膜堆積 VPC-260 ULVAC ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
酸化
拡散
40 電気炉 熱処理,酸化,拡散用 55453 光洋リンドバーグ ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
レジスト
塗布
41 スピンコーター3 フォトレジスト塗布 IHーDX2 ミカサ ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
レジスト
塗布
42 スピンコーター4 フォトレジスト塗布 IHーDX2 ミカサ ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
ベーク 43 ホットプレート3 フォトレジスト乾燥 8017P-1 IUCHI SEIEIDO ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
ベーク 44 ホットプレート4 熱処理 CTH アズワン ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
露光 45 マスクアライナー1 フォトレジストパターニング PEM-1000 ユニオン光学 ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
露光 46 マスクアライナー2 フォトレジストパターニング K310P160S 共和理研 ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
オーブン 47 オーブン1 フォトレジスト乾燥 DX31 ヤマト科学 ¥1,000 ¥1,600
材料
作製室
オーブン 48 オーブン2 フォトレジスト乾燥 DV41 ヤマト科学 ¥1,000 ¥1,600
マイクロ化
技術室
薬品
実験
49 有機ドラフト
チャンバー3
有機薬品専用     ¥1,000 ¥1,600
マイクロ化
技術室
薬品
実験
50 無機ドラフト
チャンバー2
無機薬品専用     ¥1,000 ¥1,600
マイクロ化
技術室
プラズマ
処理
51 アッシャー2 プラズマ処理 PR41 ヤマト科学 ¥1,000 ¥1,600
マイクロ化
技術室
チップの
接合
52 接合装置 陽極接合、加熱加圧接合 KOG-404-V改 PMT  ¥1,000 ¥1,600
マイクロ化
技術室
ガラス
機械加工
53 ガラス加工装置 ガラス,Siなど
脆性材料の機械加工
DBM-100-S1 PMT  ¥1,000 ¥1,600
マイクロ化
技術室
切断 54 ダイサー+
マウンター
ウェーハダイシング DAD322 DISCO ¥1,000 ¥1,600
マイクロ化
技術室
表面・
断面
観察
55 簡易SEM 表面・断面観察
φ6inchまでの対応可能
JCM-5700 日本電子  ¥1,000 ¥1,600
マイクロ化
技術室
表面・
断面
観察
56 実体顕微鏡 表面観察 SMZ1000 ニコン ¥1,000 ¥1,600
状態
評価室
表面・
断面
観察
57 FIB/SEM複合装置 加工,表面・断面観察 JIB-4600F JEOL ¥1,000 ¥1,600
状態
評価室
表面
観察
59 SCM/SPM装置 表面形状観察 MultiModeVS SPM System 日本ビーコ ¥1,000 ¥1,600
システム化
技術室
ワイヤー
ボンダ―
60 WEST-BOND ワイヤーボンディング 7476D ハイソル ¥1,000 ¥1,600
システム化
技術室
ウエハ
検査
61 半導体
パラメーター
アナライザー
+プローバー1
MOSトランジスター特性評価 4145B Agilent   ¥1,000 ¥1,600
システム化
技術室
ウエハ
検査
62 半導体
パラメーター
アナライザー
+プローバー2
MOSトランジスター特性評価 B1500A アジエントテクノロジー
+ベクターセミコン
¥1,000 ¥1,600
マイクロ化
技術室
ウエハ
検査
63 高電圧カーブ
トレーサ
+プローバー
高耐圧デバイス特性評価 CS-3300 岩通
+ベクターセミコン
¥1,000 ¥1,600
炉体室 抵抗
測定
64 四探針測定器1 抵抗値測定,
TCR測定
Model RT-70
RG -5 +TCR
ナプソン ¥500 ¥800
炉体室 接合
強度
測定
65 ダイシェアテスト
装置
接合強度の評価 4000P デイジ ¥500 ¥800
炉体室 定量
分析
66 フーリエ変換赤外
分光光度計
FTIR測定 FT/IR-410 日本分光 ¥500 ¥800
炉体室 薄膜厚
屈折率
測定
67 三波長自動
エリプソメーター
透明膜膜厚,屈折率測定 Auto EL IV NIR Ⅲ ルドルフサーチ ¥500 ¥800
炉体室 段差
測定
68 表面形状測定器1 段差測定 DEKTAK3030 SLOAN ¥500 ¥800
材料
作製室
段差
測定
69 表面形状測定器2 段差測定 DEKTAK3030 SLOAN ¥500 ¥800
材料
作製室
光学
顕微鏡
70 光学顕微鏡3 表面観察(写真撮影可能)     ¥500 ¥800
材料
作製室
抵抗
測定
71 四探針測定器2 抵抗値測定 K-705RS 共和理研 ¥500 ¥800