用途:[表面・断面 観察] 装置一覧

 ・各プロセスにおけるウェーハ確認
 
 ・ウェーハ上、マスク上パターンの確認
 ・加工、表面・断面観察
 ・ウェーハ上、マスク上パターンの確認
 
 ・表面・断面観察
 ・φ6inchまで対応可能
 ・表面・断面観察
 ・表面観察(写真撮影可能)
 
 ・表面観察
 
 ・表面状態観察