ION

すべての装置一覧

用途 No 装置名 仕様 型番 メーカー
イオン注入 1 イオン注入装置 リンおよびホウ素のイオン注入 IMX-3500 ULVAC
成膜 2 減圧CVD装置 poly-Si堆積 272-M200 光洋リンドバーグ
成膜 3 PE-CVD装置 SiO2,SiN,a-Siの堆積 PD-200NL サムコ
成膜 4 スパッタ装置1 各種金属膜の堆積
4inchターゲット
φ4inch以下の基板対応
HSR-521A 島津製作所
成膜 5 スパッタ装置2 各種金属膜の堆積
2inchターゲット
φ4inch以下の基板対応
E-200S キヤノンアネルバ
酸化・拡散・熱処理 7 電気炉1号炉 ドライ酸化用
Siウェーハのみ
M200, M300 光洋リンドバーグ
酸化・拡散・熱処理 8 電気炉2号炉 ドライおよびウェット酸化用
Siウェーハのみ
M200, M300 光洋リンドバーグ
酸化・拡散・熱処理 9 電気炉3号炉 シンタリング用
金属はAl限定
M200, M300 光洋リンドバーグ
酸化・拡散・熱処理 10 電気炉4号炉 拡散用
Siウェーハのみ
M200, M300 光洋リンドバーグ
酸化・拡散・熱処理 11 電気炉5号炉 材料限定無し M200, M300 光洋リンドバーグ
酸化・拡散・熱処理 12 縦型拡散炉 ゲート酸化膜作製用 V4-25LL ULVAC
酸化・拡散・熱処理 13 高速熱処理炉1 極薄酸化膜形成用
φ4inch基板対応
RTP-6 ULVAC
酸化・拡散・熱処理 14 高速熱処理炉2 熱処理用
15mm角以下のチップ対応
MILA-3000 アルバック理工
エッチング 15 Si系材料
ドライエッチング装置
Si,SiO2,SiNのエッチング RIE-101iPH
(フッ素ガス仕様)
サムコ
エッチング 16 Metal系材料
ドライエッチング装置
上記以外材料のエッチング RIE-101iPH
(塩素ガス仕様)
サムコ
描画 18 電子線描画装置 4inchおよび5inch角フォトマスク、
φ4inchSiウェーハ対応
JBX-6300 JEOL
露光 19 縮小投影露光装置 i線露光
φ4inchSiウェーハおよび
35mm角基板対応
FPA-3000i5+ キャノン
露光 20 両面マスクアライナー g線露光
φ4inchおよび5inch角フォトマスク,
φ4inch以下試料対応
MA-6 ズースマイクロテック 
結晶・構造・解析 21 X線分析装置 結晶構造解析,配向性評価 SmartLab リガク 
薬品洗浄エッチング 22 無機ドラフトチャンバー(HF) Hf,BHF洗浄 HSS-2000HF ダン産業
薬品洗浄エッチング 23 無機ドラフトチャンバー(一般酸) HF,BHF以外の洗浄およびエッチング HSS-2000HF ダン産業
薬品洗浄エッチング 24 RCA洗浄槽 RCA洗浄(Siのみ)
ピラニア洗浄(Si,フォトマスクのみ)
  ダルトン
レジスト除去 25 アッシャー1 レジスト除去 RP-510 ヤマト科学
ウエハ乾燥 26 スピンドライヤー Siウェーハの乾燥
φ4inchウェーハカセット専用
SPD160RN コクサン
観察 27 光学顕微鏡1 各プロセスにおけるウェーハ確認 OPTIPHOTO-200 ニコン
レジスト塗布 28 スピンコーター1 i線レジスト塗布
EBレジスト塗布
DELTA80 ズースマイクロテック 
レジスト塗布 29 スピンコーター2 TSMR,OMR塗布 IHーDX2 ミカサ
ベーク 30 クリーンオーブン EBレジスト乾燥 DE410 ヤマト科学
ベーク 31 ホットプレート1 フォトレジスト乾燥 MH-180 井内
ベーク 32 ホットプレート2 フォトレジスト乾燥 MH-180CS アズワン
現像 33 有機ドラフトチャンバー1 現像、有機薬剤による洗浄 HSS-2000 UNION
観察寸法測定 34 DUV顕微鏡 ウェーハ上,マスク上パターンの確認 INM300 DUV KLA-Tencor
観察寸法測定 35 光学顕微鏡2 ウェーハ上,マスク上パターンの確認 エクリプスL200AF NIKON
薬品洗浄エッチング 36 有機ドラフトチャンバー2 有機薬品専用    
薬品洗浄エッチング 37 無機ドラフトチャンバー1 無機薬品専用    
成膜 38 蒸着装置1 金属膜堆積 E-250 島津製作所
成膜 39 蒸着装置2 金属膜堆積 VPC-260 ULVAC
酸化拡散 40 電気炉 熱処理,酸化,拡散用 55453 光洋リンドバーグ
レジスト塗布 41 スピンコーター3 フォトレジスト塗布 IHーDX2 ミカサ
レジスト塗布 42 スピンコーター4 フォトレジスト塗布 IHーDX2 ミカサ
ベーク 43 ホットプレート3 フォトレジスト乾燥 8017P-1 IUCHI SEIEIDO
ベーク 44 ホットプレート4 熱処理 CTH アズワン
露光 45 マスクアライナー1 フォトレジストパターニング PEM-1000 ユニオン光学
露光 46 マスクアライナー2 フォトレジストパターニング K310P160S 共和理研
オーブン 47 オーブン1 フォトレジスト乾燥 DX31 ヤマト科学
オーブン 48 オーブン2 フォトレジスト乾燥 DV41 ヤマト科学
薬品実験 49 有機ドラフトチャンバー3 有機薬品専用    
薬品実験 50 無機ドラフトチャンバー2 無機薬品専用    
プラズマ処理 51 アッシャー2 プラズマ処理 PR41 ヤマト科学
チップの接合 52 接合装置 陽極接合、加熱加圧接合 KOG-404-V改 PMT 
ガラス機械加工 53 ガラス加工装置 ガラス,Siなど脆性材料の機械加工 DBM-100-S1 PMT 
切断 54 ダイサー+マウンター ウェーハダイシング DAD322 DISCO
表面・断面観察 55 簡易SEM 表面・断面観察
φ6inchまでの対応可能
JCM-5700 日本電子 
表面・断面観察 56 実体顕微鏡 表面観察 SMZ1000 ニコン
表面・断面観察 57 FIB/SEM複合装置 加工,表面・断面観察 JIB-4600F JEOL
表面・断面観察 59 SCM/SPM装置 表面形状観察 MultiModeVS SPM System 日本ビーコ
ワイヤーボンダ― 60 WEST-BOND ワイヤーボンディング 7476D ハイソル
ウエハ検査 61 半導体パラメーターアナライザー
+プローバー1
MOSトランジスター特性評価 4145B Agilent
ウエハ検査 62 半導体パラメーター
アナライザー+プローバー2
MOSトランジスター特性評価 B1500A アジエントテクノロジー
+ベクターセミコン
ウエハ検査 63 高電圧カーブトレーサ
+プローバー
高耐圧デバイス特性評価 CS-3300 岩通
+ベクターセミコン
抵抗測定 64 四探針測定器1 抵抗値測定,TCR測定 Model RT-70
RG -5 +TCR
ナプソン
接合強度測定 65 ダイシェアテスト装置 接合強度の評価 4000P デイジ
定量分析 66 フーリエ変換赤外分光光度計 FTIR測定 FT/IR-410 日本分光
薄膜厚屈折率測定 67 三波長自動
エリプソメーター
透明膜膜厚,屈折率測定 Auto EL IV NIR Ⅲ ルドルフサーチ
段差測定 68 表面形状測定器1 段差測定 DEKTAK3030 SLOAN
段差測定 69 表面形状測定器2 段差測定 DEKTAK3030 SLOAN
光学顕微鏡 70 光学顕微鏡3 表面観察(写真撮影可能)    
抵抗測定 71 四探針測定器2 抵抗値測定 K-705RS 共和理研