装置の詳細

 電気炉1号炉 光洋リンドバーグ製 M200,M300

クリーンルーム内 プロセス室
装置仕様
・ドライ酸化用
・基板サイズ:4インチウエハ
・基板の種類:Siのみ
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥1,500 学外利用者 ¥2,400
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は9:00~17:00です。(時間外の利用も相談に乗ります)