装置の詳細

 表面形状測定器1 SLOAN製 DEKTAK3030

クリーンルーム 炉体室
装置仕様
・段差測定
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥500 学外利用者 ¥800
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は準備から後片付けまでを含めて9:00〜16:00です。
・光熱費を除く消耗品費用は別途請求させていただきます。
装置利用制限について
単独利用 オペレーターと共に
装置を利用
全てをオペレーターに
委託して利用
クリーンルーム入室試験
および
装置試験の合格者のみ利用可
クリーンルーム入室試験
合格者のみ利用可
制限なし
備考
膜厚測定には最低200nmの厚さが必要となります.