装置の詳細

 高電圧カーブトレーサ+プロ―バー 岩通+ベクターセミコン製 CS-3300 2010年3月導入

マイクロ化技術室
装置仕様
・高耐圧デバイス特性評価
[カーブトレーサ]
 ・最大ピーク電圧:3000V(高電圧モード)
 ・最大ピーク電流:1000A(大電流モード)
[プロ―バー]
 ・4インチウェハ対応ホットチャック
 ・制御温度範囲:30~300℃
 ・耐圧:3000V
 ・保証印可電流:20A(パルス)
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥1,000 学外利用者 ¥1,600
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は9:00~17:00です。(時間外の利用も相談に乗ります)