装置の詳細

 ダイサー+マウンタ DISCO製 DAD322 2010年3月導入

マイクロ化技術室
装置仕様
・ウェーハダイシング
・ダイヤモンドブレード、1.5kWスピンドル仕様
・最大ストローク:(X軸)248mm,(Y軸)162mm
・切削可能範囲:(X軸)160mm,(Y軸162mm
・ワークサイズ設定範囲:(X軸,Y軸)~160mm,ステップ0.001mm
・送り速度入力範囲:(X軸)0.1~500mm/s
・送り速度:(X軸)500mm/s
・インデックス設定範囲:(Y軸)入力0~160mm,ステップ0.0001mm
・速度:(Y軸)150mm/s
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥1,000 学外利用者 ¥1,600
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は準備から後片付けまでを含めて9:00〜16:00です。
・光熱費を除く消耗品費用は別途請求させていただきます。
装置利用制限について
単独利用 オペレーターと共に
装置を利用
全てをオペレーターに
委託して利用
装置試験の合格者のみ利用可 制限なし 制限なし