装置の詳細

 ガラス加工装置 PMT製 DBM-100-S1 2010年3月導入

マイクロ化技術室
装置仕様
・ガラス、Siなど脆性材料の機械加工
・対応材質:シリコン、クォーツ、ホウ珪酸ガラス等
・最小加工線幅:100um
・アライメント分解能:2um
・重ね精度:±10um
・加工ステージサイズ:250mm×218mm
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥1,000 学外利用者 ¥1,600
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は準備から後片付けまでを含めて9:00〜16:00です。
・光熱費を除く消耗品費用は別途請求させていただきます。
装置利用制限について
単独利用 オペレーターと共に
装置を利用
全てをオペレーターに
委託して利用
装置試験の合格者のみ利用可 制限なし 制限なし