装置の詳細

 接合装置 PMT製 KOG-404-V改 2010年3月導入

マイクロ化技術室
装置仕様
・陽極接合、加熱加圧接合
・主基板サイズ:4インチ×4インチ
・試料片:最大20×20mm
・厚さ(主基板/試料片):0.7~5mm
・アライメント精度:最大±10um
・温度制御範囲:常温、50~600℃
・X-Y-θステージ移動範囲:(XおよびY軸)±50mm,(θ軸)±5rad
・分解能:(XおよびY軸)0.1um,(θ軸)5arc-sec
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥1,000 学外利用者 ¥1,600
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は準備から後片付けまでを含めて9:00〜16:00です。
・光熱費を除く消耗品費用は別途請求させていただきます。
装置利用制限について
単独利用 オペレーターと共に
装置を利用
全てをオペレーターに
委託して利用
装置試験の合格者のみ利用可 制限なし 制限なし