装置の詳細

 マスクアライナー1 ユニオン光学製 PEM-1000

材料作製室
装置仕様
・レジストフォトパターニング
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥1,000 学外利用者 ¥1,600
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は準備から後片付けまでを含めて9:00〜16:00です。
・光熱費を除く消耗品費用は別途請求させていただきます。
装置利用制限について
単独利用 オペレーターと共に
装置を利用
全てをオペレーターに
委託して利用
装置試験の合格者のみ利用可 制限なし 制限なし