装置の詳細

 スピンコーター1 ズースマイクロテック製 DELTA80 2010年3月

クリーンルーム フォト室
装置仕様
・i線レジスト塗布
・EBレジスト塗布
・対応基板サイズ(ギルセット使用時):最大8インチウェハ
・対応基板サイズ(チャック使用時):4インチおよび5インチ各フォトマスク、Φ4インチSiウェハ対応、チップ≧15mm
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥1,000 学外利用者 ¥1,600
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は準備から後片付けまでを含めて9:00〜16:00です。
・光熱費を除く消耗品費用は別途請求させていただきます。
装置利用制限について
単独利用 オペレーターと共に
装置を利用
全てをオペレーターに
委託して利用
クリーンルーム入室試験
および
装置試験の合格者のみ利用可
クリーンルーム入室試験
合格者のみ利用可
制限なし