装置の詳細

 無機ドラフトチャンバー(一般酸) ダン産業製 HSS-2000HF

クリーンルーム プロセス室
装置仕様
・HF,BHF以外の洗浄およびエッチング
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥1,000 学外利用者 ¥1,600
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は9:00~17:00です。(時間外の利用も相談に乗ります)
備考
使用を予定している薬品がマイクロ化に登録されていなければ,新規使用申請が必要となります.使用を希望されている薬品につきましてはお問い合わせください.