装置の詳細

 縮小投影露光装置 キャノン製 FPA-3000i5+ 2010年3月導入

クリーンルーム内 フォト室
装置仕様
・i線露光
[レチクル]
 ・サイズ:5インチ角
 ・材質:石英
 ・膜:2層Cr,3層Cr
 ・収納レチクル数:14枚
[ウエハ]
 ・基板サイズ:Φ4インチSiウェハおよび35mm角基板
[投影光学系]
 ・倍率:1/5
 ・NA:0.63~0.45
 ・画面サイズ:20mm角
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥1,500 学外利用者 ¥2,400
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は準備から後片付けまでを含めて9:00〜16:00です。
・光熱費を除く消耗品費用は別途請求させていただきます。
装置利用制限について
単独利用 オペレーターと共に
装置を利用
全てをオペレーターに
委託して利用
クリーンルーム入室試験
および
装置試験の合格者のみ利用可
クリーンルーム入室試験
合格者のみ利用可
制限なし