装置の詳細

 高速熱処理炉2 ULVAC理工製 MILA-3000 2007年11月導入

クリーンルーム内 プロセス室
装置仕様
・熱処理用
・雰囲気:真空中、N2中
・温度範囲:~1200℃
・最大加熱速度:50℃/sec(SiCコート付きカーボンサセプタ使用)
・基板サイズ:15mm角以下のチップ
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥1,500 学外利用者 ¥2,400
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は9:00~17:00です。(時間外の利用も相談に乗ります)