装置の詳細

 イオン注入装置ULVAC製IMX-35002010年3月導入

クリーンルーム内 プロセス室
装置仕様
・リンおよびホウ素のイオン注入
・エネルギー範囲:20〜300keV
・最大ビーム電流:11B+(BF3ガス使用)400μA以上,31P+(PH3ガス使用)900μA以上
・最小ビーム電流:150nA
・基板サイズ:4インチウエハ、もしくは、4インチ以内に収まる不定形試料
装置利用料金(1時間当たり)
学内利用者 ¥1,500 学外利用者 ¥2,400
 
・オペレーター支援の場合は別途オペレーター料金が必要です。:3,000円/時間 (学内、学外同額)
・使用可能時間は9:00~17:00です。(時間外の利用も相談に乗ります)